http://ir-heat-work.com/zh/tags/%E5%8E%9F%E5%AD%90/ Recent content in 原子 on Professional IR Heat Solutions Hugo zh Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800 http://ir-heat-work.com/zh/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800 http://ir-heat-work.com/zh/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="AFM 原子力显微镜 加热器"></p> <p>在光刻过程中，如果样品温度出现半度的波动，AFM扫描就会失效。光阻材料的处理过程——无论是软烘烤还是硬烘烤，以及后续的尺寸控制——都受温度影响。如果加热器无法将温度控制在0.1摄氏度以内的精度范围内，那就不是在精确测量，而是在猜测而已。</p>