http://ir-heat-work.com/vi/tags/giao-th%E1%BB%A9c-v%E1%BA%ADn-chuy%E1%BB%83n-th%E1%BB%9Di-gian-th%E1%BB%B1c/ Recent content in Giao Thức Vận Chuyển Thời Gian Thực on Professional IR Heat Solutions Hugo vi Sun, 07 Jun 2026 04:08:02 +0800 http://ir-heat-work.com/vi/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Sun, 07 Jun 2026 04:08:02 +0800 http://ir-heat-work.com/vi/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Đèn halogen cho hệ thống RTP"></p> <p>Trên sàn sản xuất, ngân sách nhiệt không phải là đề xuất mà là hợp đồng. Chênh lệch nửa độ trên bề mặt wafer đã đủ để làm thay đổi kích thước quan trọng, làm lệch cấu hình doping và xóa bỏ hàng giờ làm việc quang khắc. Trong RTP, hợp đồng đó vận hành dựa trên đèn halogen.</p> <p><strong>Điều thực sự quan trọng bên trong</strong></p> <p>Chúng tôi cung cấp bước sóng hồng ngoại ngắn truyền thẳng vào silicon và <a href="https://o-yate.com">photoresist</a> một cách nhanh chóng. Hình dạng sợi đốt và căn chỉnh phản xạ được thiết lập để đạt độ đồng đều trên wafer trong phạm vi ±0.1°C—chính xác yêu cầu cho kiểm soát dưới nanomet. Vỏ thạch anh và đầu nối kín khí giữ lượng hạt bụi dưới ngưỡng cho phòng sạch Class 1–100.</p>