اپنی مشین کو گرم کرنا بند کریں (اور ویفر کو گرم کرنا شروع کریں)
جب آپ ویفر گرم کرنے والے آلے کو تیار کرتے ہیں، تو آپ چاہتے ہیں کہ توانائی صرف سلیکون پر ہی پڑے؛ یعنی وہ توانائی آلے کے دیگر حصوں میں نہ جائے۔
مسئلہ یہ ہے کہ عام انفراریڈ لائٹس سے توانائی ہر سمت میں پھیل جاتی ہے۔ تنگ جگہوں پر یہ ضائع شدہ توانائی دیواروں سے ٹکرا کر واپس آ جاتی ہے۔ نتیجتاً، آلے کا خول ایک بڑے “حرارتی سنک” کی مانند بن جاتا ہے۔ اس سے آلے کے اجزاء خراب ہو سکتے ہیں، یا بدترین صورت میں، آپ کو چوٹ لگ سکتی ہے۔
توانائی کو درست جگہ پر پہنچانا
ہم اس مسئلے کو حل کرنے کے لئے “سمتی انفراریڈ ٹیکنالوجی” کا استعمال کرتے ہیں۔ ہم صرف عام کوارٹز ٹیوبوں کا استعمال نہیں کرتے، بلکہ خاص ریفلیکٹرز اور کوٹنگز کا استعمال کرتے ہیں تاکہ انفراریڈ توانائی صرف ویفر کی سطح پر ہی پڑے۔ اس طرح “غیرضروری” توانائی دیواروں پر نہیں پڑتی۔
اس طرح حرارت صرف درست جگہ پر ہی رہتی ہے۔
فاصلہ اور حفاظت
لائٹ کو کہاں نصب کیا جائے، یہ بہت اہم ہے۔ اگر لائٹ بہت قریب ہو تو ویفر پر غیرمساوی حرارت پڑے گی۔ اگر لائٹ بہت دور ہو تو تیزی سے حرارت پیدا کرنا ممکن نہیں ہوگا۔
ہم ان فاصلوں کو درست کرنے میں بہت وقت صرف کرتے ہیں۔ ہدف یہ ہے کہ آلے کی دیواریں اتنی ٹھنڈی رہیں کہ انہیں چھوا جا سکے۔ چونکہ لائٹیں سمتی ہیں، اس لئے پورے آلے پر بھاری کولنگ سسٹم لگانے کی ضرورت نہیں ہے۔
مشکلات
یہ کوئی جادوئی حل نہیں ہے۔ جب توانائی کو ایک نقطے پر مرکوز کیا جاتا ہے، تو اس نقطے پر حرارت کی کثافت بہت زیادہ ہو جاتی ہے۔ لہذا ضروری ہے کہ PID کنٹرولرز کو درست طریقے سے ترتیب دیا جائے، ورنہ درجہ حرارت مطلوبہ سطح سے زیادہ ہو سکتا ہے۔
اور ایک اور اہم بات یہ ہے کہ ریفلیکٹرز کو صاف رکھنا ضروری ہے۔ اگر گرد یا کیمیکلز ریفلیکٹرز پر جم جائیں، تو توانائی بکھر جاتی ہے، اور آلہ پھر سے گرم ہو جاتا ہے۔ لہذا ریفلیکٹرز کو ہمیشہ صاف رکھنا ضروری ہے، ورنہ حفاظتی اقدامات بیکار ہو جائیں گے۔