http://ir-heat-work.com/uk/tags/%D0%B4%D0%BE%D0%B2%D0%B3%D0%BE%D0%B2%D1%96%D1%87%D0%BD%D0%B8%D0%B9/ Recent content in Довговічний on Professional IR Heat Solutions Hugo uk Thu, 18 Jun 2026 04:43:55 +0800 http://ir-heat-work.com/uk/posts/durable-photoresist-bake-heater/ Thu, 18 Jun 2026 04:43:55 +0800 http://ir-heat-work.com/uk/posts/durable-photoresist-bake-heater/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="Надійний нагрівач для висушування фоторезисту"></p> <p>На виробничій лінії оцінювання якості процесу висушування фоторезисту здійснюється не лише за допомогою показників температури. Важливими є також час роботи обладнання, кількість частинок, які не утворюються під час процесу, а також стабільність параметрів CD на тисячах пластин. Якщо нагрівач починає працювати некоректно, робота лінії зупиняється – це призводить до втрат продукції та енергії.</p> <p><strong>Що ми створили та чому це важливо</strong><br> Ми створили цей нагрівач для висушування фоторезисту на основі елемента короткохвильового інфрачервоного випромінювання та теплового сердечника з кварцовим наповнювачем. Саме цей підхід дозволяє досягти однорідності температури на рівні ±0,1°C. Корпус нагрівача розроблений для роботи в умовах чистої кімнати класу 1–100: запірні елементи та конструкція, яка зменшує викиди газів, забезпечують відсутність частинок під час роботи.</p>