Yedek on Professional IR Heat Solutions

Leybold vakum ısıtıcı yedek parça

Sat, 06 Jun 2026 04:20:22 +0800

Üretim katında, soft bake veya hard bake sırasında yaşanan termal sapma sadece verimi hafifçe etkilemez — verimi tamamen yok eder. Bir Leybold vakum ısıtıcısı sapmaya başladığında, fotoresist profilleri çöker, CD (kritik boyut) tutarlılığı bozulur ve fetih kayması açılır. Bu Leybold vakum ısıtıcısı yedek parçalarını, termal bütçeyi her çevrimde tutarlı tutmak için ürettik.

İşte kaputun altında gerçekten önemli olanlar. Isıtıcı montajları, chuck boyunca wafer seviyesinde termal uniformiteyi ±0.1°C içinde tutar; böylece soft bake ve hard bake profilleriniz G-line, i-line veya KrF resist kullanmanız fark etmeksizin tekrarlanır. Kısa dalga emisyonlu kuvars-halojen elemanlar, dış gaz çıkışı olmadan hızlı ve temiz ısınma süreleri sağlar.

ASML litografi lamba yedeği

Wed, 03 Jun 2026 10:14:21 +0800

Üretim sahasında, bir lamba arızası duruş süresi değildir—hurda demektir. ASML litografi lambası performans düşüklüğü göstermeye başladığında, soft bake sapar, çizgi kalınlığı kontrolü bozulur ve verim düşer. Bu ASML litografi lamba yedek parçalarını termal bütçeyi tam olarak koruyacak şekilde tasarladık; böylece süreç 7/24 çalışırken bile spesifikasyonlarda kalır.

Teknik olarak önemli olan Bu yedek parçalar sıcaklığı tekrarlanabilir tutar ve wafer seviyesinde ±0.1°C içinde uniformite sağlar. Bu önemlidir çünkü kritik bir bake adımındaki küçük bir sapma, hızla CD ve profil değişimine yol açabilir. Kuvars kılıf ve optimize edilmiş halojen/NIR spektrum çıkışı enerji iletimini stabil tutar; böylece fotoresist bake ve kür işlemleri tutarlı kalır.