http://ir-heat-work.com/tr/tags/%C3%B6zel/ Recent content in Özel on Professional IR Heat Solutions Hugo tr Thu, 25 Jun 2026 05:09:11 +0800 http://ir-heat-work.com/tr/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 25 Jun 2026 05:09:11 +0800 http://ir-heat-work.com/tr/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Wafer için özel kızılötesi ısıtıcı"></p> <p>Litografi işlemlerinde, fotorezistin ısıtılması sırasında meydana gelen 0,5°C’lik bir sıcaklık değişikliğinin bile ürün kalitesini olumsuz etkileyebileceğini hızla öğrenirsiniz. Ayrıca, parçacık oluşumu da birçok waferin bozulmasına neden olabilir. Waferlerin ısıtılması işlemi her seferinde, her parti için tekrarlanabilir, temiz ve hızlı olmalıdır. Hiçbir istisna kabul edilmemelidir.</p> <p><strong>İç düzeyde önemli olanlar</strong> Wafer işlemleri için özel olarak tasarlanmış kızılötesi ısıtıcılar kullanılır; bunlar, belirlenen termal bütçeye uygun şekilde kısa dalga veya orta dalga emicilerle bir araya getirilir. Isıtma işlemi sırasında waferlerin sıcaklığı ±0,1°C civarında tutulur ve ayar noktasına ulaşma süresi 2 <a href="https://o-yate.net">saniyeden</a> azdır. Isıtıcı gövdesi kuvars ve yüksek saflıkta seramiklerden yapılmıştır ve bağlantı noktaları gaz sızıntısını ve kirlenmeyi engelleyecek şekilde mühürlenmiştir.</p>