อบ on Professional IR Heat Solutions

เครื่องอบสำหรับวัสดุโฟโตรีซิสที่ทนทาน

Thu, 18 Jun 2026 04:43:54 +0800

ในโรงงานผลิตชิป การประเมินคุณภาพของวัสดุโฟโตรีซิสต์นั้น ไม่ได้พิจารณาเพียงแค่อุณหภูมิเท่านั้น แต่ยังต้องพิจารณาถึงเวลาที่ใช้ในการอบ จำนวนอนุภาคที่เกิดขึ้น และความสม่ำเสมอของค่า CD ในวัสดุโฟโตรีซิสต์ที่ผลิตขึ้นมาหลายพันชิ้นด้วย หากเครื่องอบมีปัญหา กระบวนการผลิตก็จะหยุดลง และส่งผลให้เสียผลิตภัณฑ์และเสียเวลาในการผลิตไปด้วย

สิ่งที่เราสร้างขึ้น และเหตุใดมันจึงมีความสำคัญ
เราสร้างเครื่องอบวัสดุโฟโตรีซิสต์นี้โดยใช้องค์ประกอบอินฟราเรดความยาวคลื่นสั้น ร่วมกับโครงสร้างที่ทำจากควอตซ์ เพื่อให้ได้ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิในระดับ ±0.1°C ตัวเครื่องอบถูกออกแบบมาให้เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องปลอดภัยระดับ Class 1–100 โดยมีการออกแบบให้มีการปิดผนึกจุดเชื่อมต่อต่างๆ และมีระบบที่ช่วยลดการปล่อยก๊าซออกมา ทำให้ไม่มีอนุภาคเกิดขึ้นเลย

ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิยังคงอยู่ในระดับที่ดี ไม่ว่าจะเป็นการอบแบบอ่อนหรือแบบแข็งก็ตาม ดังนั้นช่วงเวลาการอบจึงมีความสม่ำเสมอตลอดเวลา ตัวเครื่องอบนี้ถูกออกแบบมาให้สามารถทำงานได้ตลอด 24/7 โดยไม่มีปัญหา และยังมีอายุการใช้งานที่ยาวนานขึ้น เนื่องจากมีโครงสร้างที่ทนต่อการกัดกร่อน และมีการควบคุมอุณหภูมิอย่างเหมาะสม ทำให้ลดแรงกระทำที่เกิดขึ้นกับวัสดุโฟโตรีซิสต์

เหตุใดสิ่งนี้จึงมีความสำคัญในกระบวนการลิโทกราฟี
ในกระบวนการลิโทกราฟี อุณหภูมิในการอบมีผลต่อการไหลของวัสดุโฟโตรีซิสต์ ปริมาณสารละลายที่เหลืออยู่ และความสามารถในการกัดกร่อนวัสดุ ด้วยเครื่องอบนี้ คุณสามารถควบคุมอุณหภูมิได้อย่างสม่ำเสมอในแต่ละชุดผลิตภัณฑ์ ทำให้ลดการต้องแก้ไขผลิตภัณฑ์ และสามารถควบคุมค่า CD ได้อย่างมีประสิทธิภาพ

นอกจากนี้ การใช้พลังงานก็ลดลงด้วย เพราะเครื่องอบสามารถถึงอุณหภูมิที่ตั้งไว้ได้อย่างรวดเร็ว และรักษาอุณหภูมิไว้ได้โดยไม่มีการเกินอุณหภูมิที่กำหนด ดังนั้นค่าใช้จ่ายด้านพลังงานต่อชิ้นผลิตภัณฑ์ก็จะลดลง นอกจากนี้ การเปลี่ยนเครื่องอบก็น้อยลง ทำให้ไม่มีการหยุดการผลิตบ่อยครั้ง

สิ่งที่คุณต้องคำนึงถึงในการติดตั้งและการใช้งาน
การติดตั้งเครื่องอบนั้น ต้องมีการปรับให้อยู่ในตำแหน่งที่ถูกต้องเมื่อเชื่อมต่อกับแผ่นร้อน และต้องมีการเชื่อมต่อสายไฟที่เหมาะสมกับสภาพแวดล้อมในห้องปลอดภัย หากสายไฟไม่ตรงกัน ก็อาจทำให้เกิดปัญหาเรื่องความสม่ำเสมอของอุณหภูมิได้

เครื่องอบจะทำงานได้ดีที่สุดเมื่อมีกระแสลมในห้องที่สม่ำเสมอ และอุณหภูมิภายนอกอยู่ในช่วงที่กำหนด ควรมีการปรับเครื่องอบเป็นระยะๆ เพื่อรักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิไว้ที่ ±0.1°C แต่ก็สามารถปล่อยให้เครื่องอบทำงานได้เป็นเวลานานๆ ก่อนที่จะมีการปรับอีกครั้ง เพราะเครื่องอบของเราสามารถทำงานได้หลายหมื่นชั่วโมงโดยไม่มีปัญหาใดๆ

เครื่องทำความร้อนอินฟราเรดสำหรับการอบก่อนการพิมพ์ฟิล์มเรซิน

Fri, 05 Jun 2026 04:28:02 +0800

บนพื้นโรงงาน คุณรู้ดีถึงความสำคัญ การเปลี่ยนแปลง 1°C ในระหว่างการเบาอบฟิล์มฟอร์มสามารถทำให้เวเฟอร์ขนาด 300mm เสียก่อนที่คุณจะได้ทำการเปิดรับแสงเลย แผ่นร้อนแบบดั้งเดิมต่อสู้กับปัญหาขอบลอย และความล่าช้าทางความร้อนยังสร้างปัญหาความสม่ำเสมอระหว่างล็อต คุณต้องการวิธีการให้ความร้อนที่สามารถรักษาจังหวะกับการเคลือบด้วยการหมุนและลงเป้าหมายในการถ่ายภาพ

สิ่งที่สำคัญภายในระบบ เราทำการเบาอบฟิล์มฟอร์มด้วยเครื่องทำความร้อนอินฟราเรด: ความร้อนแบบเร่งด่วนที่มีการควบคุมอุณหภูมิที่แน่นหนา องค์ประกอบ IR ช่วงคลื่นสั้นตอบสนองในเวลาไม่ถึงวินาที ดังนั้นความล่าช้าที่ทำให้เกิดความไม่สม่ำเสมอภายในเวเฟอร์จึงหายไป ความสม่ำเสมอระดับเวเฟอร์อยู่ที่ ±0.1°C ทั่วพื้นผิวทั้งหมด และความสม่ำเสมอในการตั้งค่าคงที่อยู่ภายใน ±0.2°C ระหว่างการเปลี่ยนแปลง เครื่องทำความร้อนเหล่านี้ตั้งอยู่ในห้องสะอาด Class 1–100 โดยไม่มีการปล่อยอนุภาคและการปล่อยก๊าซต่ำ การควบคุมแบบปิดวงจรช่วยให้การใช้ความร้อนคงที่ ดังนั้นมิติที่สำคัญจึงอยู่ในสเปคหลังจากการเบาอบและการเปิดรับแสงที่ตามมา

ทำไมจึงมีความสำคัญในกระบวนการฟิล์มฟอร์ม การเบาอบคือที่ที่การกำจัดตัวทำละลายและความเครียดของฟิล์มถูกตั้งค่า ด้วย IR พลังงานจะเข้าสู่ฟิล์มฟอร์มโดยตรง ไม่ใช่ที่ตัวกลาง ดังนั้นตัวทำละลายจึงระเหยได้เร็วขึ้นโดยไม่มีการเกินขนาด คุณจะได้ความหนาที่สม่ำเสมอ ความหนาแน่นของข้อบกพร่องที่ต่ำลง และความหยาบของขอบเส้นที่สะอาด ระบบทำงาน 24/7 โดยต้องการการบำรุงรักษาน้อยที่สุด ใช้พลังงานน้อยกว่าเครื่องมือแบบหมุนเวียน และลดเวลาในการทำงานโดยไม่เพิ่มค่าใช้จ่ายในการดำเนินงาน

สิ่งที่คุณต้องระวัง ประสิทธิภาพของ IR ขึ้นอยู่กับการปล่อยและการสะท้อน ดังนั้นการซ้อนทับที่มีเนื้อโลหะสูงอาจต้องการการปรับตั้งค่าซ้ำและการปรับสมดุลพลังงานในโซน การติดตั้งต้องการเส้นสายตาที่ชัดเจนและการจัดแนวที่สะอาดเพื่อหลีกเลี่ยงจุดร้อน จะมีช่วงการเริ่มต้นที่สั้นเพื่อตรวจสอบการปล่อยและปรับแต่งโปรไฟล์โซน แต่เมื่อเสร็จสิ้นแล้ว ขอบเขตของกระบวนการจะเปิดกว้างและการอบจะยังคงมีความเสถียรและสามารถทำซ้ำได้วันแล้ววันเล่า