Запасной; Резервный on Professional IR Heat Solutions

Запасная часть для вакуумного нагревателя Leybold

Sat, 06 Jun 2026 04:20:21 +0800

На производственном участке тепловой выброс во время мягкой или твёрдой сушек не просто снижает выход продукции — он полностью её разрушает. Если вакуумный нагреватель Leybold начинает уходить с заданных параметров, профили фотоимплантата разрушаются, однородность CD меняется, а смещение травления увеличивается. Мы разработали запасные части для вакуумных нагревателей Leybold, чтобы поддерживать тепловой бюджет в пределах нормы цикл за циклом.

Вот что действительно важно технически. Узлы нагревателя обеспечивают термическую однородность wafer-уровня в пределах ±0.1°C по всей поверхности чука, благодаря чему профили мягкой и твёрдой сушки повторяются — независимо от того, используете ли вы резисты g-line, i-line или KrF. Кварцево-галогенные элементы с коротковолновым излучением обеспечивают быстрый, чистый прогрев без выделения газов.

Запасная лампа для литографии ASML

Wed, 03 Jun 2026 10:14:21 +0800

На производственном участке отказ лампы — это не простой простой, а брак. Когда лампа литографии ASML начинает работать с пониженной производительностью, происходит сдвиг мягкой сушки, ухудшается контроль ширины линии, и снижается выход годных изделий. Мы изготовили эти запасные лампы для литографии ASML с точным соблюдением теплового бюджета, чтобы ваш процесс оставался в пределах спецификации даже при круглосуточной работе.

Что имеет техническое значение
Эти запасные части обеспечивают повторяемость температуры с однородностью на уровне пластин в пределах ±0,1°C. Это важно, поскольку небольшое отклонение на критическом этапе сушки может быстро изменить CD и профиль. Кварцевый баллон и оптимизированный спектр галогенового/ближнего инфракрасного излучения обеспечивают стабильную подачу энергии, что поддерживает постоянство сушки и отверждения фоторезиста.