Вакуум on Professional IR Heat Solutions

Инфракрасный обогреватель совместимый с вакуумом

Mon, 20 Jul 2026 11:54:30 +0800

Как предотвратить взрыв инфракрасных ламп в вакууме
Проблема заключается в том, что при работе инфракрасных нагревателей в вакууме физические законы меняются. В обычном воздухе газы вокруг лампы помогают удерживать электрический ток на месте. Но когда создается вакуум, этот «защитный барьер» исчезает. Риск возникновения сильного электрического разряда значительно возрастает.

Поэтому мы не ограничиваемся лишь поверхностной проверкой ламп. Каждая лампа, покидающая наш завод, проходит полную проверку на устойчивость к высокому напряжению и на сопротивление изоляции. Исключений нет.

Инфракрасный нагреватель для вакуумной камеры

Sun, 19 Jul 2026 16:36:02 +0800

Как правильно контролировать температуру в «умной фабрике»
Если вы создаете «умную фабрику» для промышленности 4.0, вы, наверное, уже поняли, что старые методы контроля температуры больше не подходят. Традиционные резистивные нагреватели слишком медленны в работе. Когда вся производственная линия становится цифровой и работает с огромной скоростью, нельзя ждать, пока камера нагреется.

Поэтому мы используем инфракрасные системы, совместимые с вакуумом. Они позволяют мгновенно контролировать температуру.

Реальность нагрева в вакууме
В вакуумных камерах отсутствует конвекция – нет воздуха, который мог бы распространять тепло. Поэтому используется излучение, и именно здесь проявляется преимущество инфракрасных излучателей. Вместо того чтобы нагревать всю камеру, излучатели направляют фотоны прямо на пластину или подложку. Благодаря использованию коротковолнового инфракрасного излучения можно быстро достичь нужной температуры. К тому же не тратится лишняя энергия на нагрев стенок камеры.

Запасная часть для вакуумного нагревателя Leybold

Sat, 06 Jun 2026 04:20:21 +0800

На производственном участке тепловой выброс во время мягкой или твёрдой сушек не просто снижает выход продукции — он полностью её разрушает. Если вакуумный нагреватель Leybold начинает уходить с заданных параметров, профили фотоимплантата разрушаются, однородность CD меняется, а смещение травления увеличивается. Мы разработали запасные части для вакуумных нагревателей Leybold, чтобы поддерживать тепловой бюджет в пределах нормы цикл за циклом.

Вот что действительно важно технически. Узлы нагревателя обеспечивают термическую однородность wafer-уровня в пределах ±0.1°C по всей поверхности чука, благодаря чему профили мягкой и твёрдой сушки повторяются — независимо от того, используете ли вы резисты g-line, i-line или KrF. Кварцево-галогенные элементы с коротковолновым излучением обеспечивают быстрый, чистый прогрев без выделения газов.