http://ir-heat-work.com/ru/tags/%D0%B0%D1%82%D0%BE%D0%BC%D0%BD%D1%8B%D0%B9/ Recent content in Атомный on Professional IR Heat Solutions Hugo ru Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800 http://ir-heat-work.com/ru/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800 http://ir-heat-work.com/ru/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Нагреватель AFM (атомно силового микроскопа)"></p> <p>На этапе литографии сканирование с использованием АФМ становится невозможным, если температура образца изменяется хотя бы на полградуса. Поведение фоторезиста – процессы его закалки, а также контроль его размеров – все это зависит от температуры. Если нагреватель не может поддерживать заданную температуру с точностью до 0,1°C, то речь идет не о точных измерениях, а лишь о приблизительных оценках.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong> При создании таких нагревателей для АФМ учитываются три ключевых фактора: тепловая стабильность, работоспособность в чистых помещениях и возможность повторения процесса. Нагреватель обеспечивает стабильность температуры на уровне ±0,1°C в диапазоне от 25°C до 300°C; эта точность может быть сверена с калиброванным эталоном. Для снижения количества выделения газов и образования частиц используется высокочистый кварц и элементы коротковолнового инфракрасного излучения. Поверхности нагревателя выполнены таким образом, чтобы обеспечить работу в чистых помещениях класса 1–100; это позволяет сохранять низкое количество частиц и предотвращать их проникновение. Контроль температуры осуществляется с использованием стабильной системы PID, что позволяет сохранять температуру в пределах заданных параметров без ее выхода за пределы.</p>