Прекратите нагревание оборудования – начните нагревать саму пластину
При настройке устройства для нагрева пластины необходимо, чтобы энергия попадала именно на поверхность кремния. Не нужно, чтобы она распространялась по всему корпусу оборудования.
Проблема в том, что стандартные инфракрасные лампы излучают тепло во все стороны. В ограниченном пространстве полупроводникового оборудования эта потраченная энергия просто отражается от внутренних стенок. В итоге корпус оборудования превращается в огромный радиатор тепла. Это может привести к деформации компонентов или, что ещё хуже, к травмам оператора.
Как направить тепло туда, где это необходимо
Для этого мы используем технологию направленного излучения. Вместо простого использования обычной кварцевой трубки мы применяем специальные отражатели и покрытия, которые направляют излучение именно на поверхность пластины. Это позволяет избежать распространения лишнего тепла по всему помещению.
Баланс между расстоянием и безопасностью
Место размещения лампы имеет большое значение. Если она слишком близко, возникают участки с чрезмерным нагревом; если слишком далеко – теряется необходимая интенсивность нагрева. Мы тратим много времени на настройку правильного расстояния. Цель – сохранять внутренние стенки в прохладном состоянии. Поскольку лампы излучают тепло направленно, не нужно использовать массивные системы охлаждения для всего корпуса оборудования.
Нюансы
Это не волшебное решение. Когда мы концентрируем излучение, интенсивность тепла на фокусе увеличивается. Необходимо правильно настроить контроллеры, иначе температура может превысить заданный уровень. Ещё один важный момент: необходимо поддерживать чистоту оптических элементов. Если на отражателях появляется пыль или химикаты, излучение будет рассеиваться. Тогда все снова вернется к началу – оборудование снова будет перегреваться. Необходимо поддерживать чистоту оптических элементов, иначе безопасность будет нарушена.