Lâmpada infravermelha sem ozônio

Sun, 21 Jun 2026 06:44:34 +0800

Na linha de produção, um desvio de alguns graus no perfil de aquecimento pode afetar negativamente o controle das dimensões críticas dos wafers, causando danos ao fotoresisto e transformando wafers bons em sucata. Por isso, desenvolvemos lâmpadas infravermelhas sem ozônio, para lidar com essa realidade, em vez de tentar corrigi-la posteriormente. O objetivo é manter uma temperatura constante, permitindo que os wafers se movam sem sofrer variações térmicas.

O que realmente importa é a repetibilidade sob carga. Nosso emissor NIR atinge rapidamente a temperatura desejada e mantém a uniformidade dos wafers em torno de ±0,1°C na área de aquecimento. Assim, os parâmetros de aquecimento permanecem constantes, lote após lote. A abordagem sem ozônio evita contaminação da câmara e reduz a quantidade de partículas presentes – compatível com ambientes limpos de classe 1–100. A performance da lâmpada permanece consistente por mais de 5.000 horas, com menos de 5% de variação em termos de luminosidade e temperatura.

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Lâmpada infravermelha sem ozônio