Mantendo sua sala limpa de classe 100 realmente limpa
Quando se trabalha em uma sala limpa de classe 100, até mesmo um pequeno grão de poeira ou uma pequena quantidade de gás durante o aquecimento do wafer pode causar grandes problemas. A maioria dos elementos de aquecimento comuns não consegue lidar com isso. Eles se expandem e contraiçam à medida que aquecem, e esse movimento constante faz com que partículas microscópicas se soltem. Isso é um verdadeiro pesadelo para a qualidade do produto final.
Para resolver esse problema, usamos quartzo sintético de alta pureza em nossas lâmpadas de IR.
Por que o quartzo é importante?
Usamos sílica fundida, que tem quase zero impurezas. Isso evita o efeito de “empoeiramento” que acontece com os materiais baratos. Essas lâmpadas utilizam radiação infravermelha de onda curta. Em vez de aquecer todo o ar ao redor do wafer, a energia vai direto para a superfície do mesmo. Isso é ótimo, pois reduz as correntes de convecção que normalmente levantam poeira do chão e a fazem voar até o local onde você trabalha. Além disso, o quartzo é quimicamente inerte. Ele não reage com os gases presentes na câmara, assim o wafer permanece exatamente como deve estar.
Detalhes sobre o design
Se você trabalha com deposição de filme fino ou cura de materiais, sabe que a precisão é essencial. Construímos essas lâmpadas para garantir que o calor seja distribuído de maneira uniforme por todo o wafer. Dependendo das necessidades, podemos usar quartzo transparente, permitindo que o máximo de radiação infravermelha passe, ou podemos adicionar revestimentos especiais para ajustar o comprimento de onda da radiação.
Também usamos eletrodos revestidos de ouro ou com alto teor de níquel, para evitar a oxidação nas conexões. Se essa conexão falhar, o gás halogênio vaza e o filamento da lâmpada queima imediatamente. Mantemos essas tolerâncias estreitas para que seja possível trocar a lâmpada sem precisar passar toda a tarde recalibrando o equipamento.
Algumas coisas às quais prestar atenção
Essas lâmpadas de alta intensidade geram uma grande quantidade de calor. Embora o wafer receba exatamente o que precisa, o corpo da lâmpada será muito afetado pelo calor. É preciso garantir que o sistema de resfriamento funcione bem. Se o fluxo de ar for insuficiente, o calor pode deformar os suportes da lâmpada. Para evitar isso, recomendamos o uso de um sistema de resfriamento a água gelada ou ar forçado de alta velocidade. Mantenha as partes que não devem ficar quentes sempre frias. É simples assim.