Duurzame oven voor het verhitten van fotorezerven

Thu, 18 Jun 2026 04:43:54 +0800

Op de productielijn wordt de kwaliteit van het fotorezerverproces niet alleen beoordeeld op basis van de temperatuur. Er wordt ook gekeken naar de beschikbare tijd, het aantal deeltjes dat vrijkomt, en de consistentie van de CD-waarden over duizenden wafers heen. Als de verwarmingseenheid faalt, stopt de productie – en verlies je zowel producten als energie.

Wat we hebben gebouwd, en waarom dat belangrijk is
We hebben deze verwarmingseenheid gebouwd met behulp van een kortegolf-infraroodelement en een thermische structuur gemaakt van kwarts. Hierdoor kan er een constante temperatuur worden behouden van ±0,1°C. Het apparaat is ontworpen voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100: er zijn afgesloten verbindingen en een ontwerp dat zorgt voor minimale uittreding van gassen, zodat er geen deeltjes worden gegenereerd.

Fotoreductor on Professional IR Heat Solutions

Duurzame oven voor het verhitten van fotorezerven