http://ir-heat-work.com/ms/tags/mengurangkan/ Recent content in Mengurangkan on Professional IR Heat Solutions Hugo ms Tue, 09 Jun 2026 03:55:48 +0800 http://ir-heat-work.com/ms/posts/reducing-energy-in-fab-drying/ Tue, 09 Jun 2026 03:55:48 +0800 http://ir-heat-work.com/ms/posts/reducing-energy-in-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="Mengurangkan tenaga dalam pengeringan fab"></p> <p>Di lantai fab, setiap watt yang digunakan oleh drying train diperiksa dengan teliti. Kos tenaga tidak boleh meningkat sehingga kita terpaksa mengambil risiko terhadap integriti photoresist. Jika keseragaman terma berubah, kawalan lebar garisan dan prestasi defect akan terjejas. Kami membina platform pengeringan untuk mengurangkan penggunaan tenaga semasa pengeringan fab sambil mengekalkan proses pada tahap toleransi sifar.</p> <p><strong>Apa yang penting di dalamnya</strong><br> Kami memadankan sumber NIR dengan kawalan gelung tertutup untuk mencapai keseragaman per wafer dalam lingkungan ±0.1°C merentasi profil bake. Titik set soft bake dan hard bake <a href="https://henruite.com">dikekalkan</a> dengan ketat dan boleh diulang, supaya dimensi kritikal terpelihara selepas litografi. Keserasian bilik bersih Kelas 1–100 bukan perkara sampingan—laluan aliran udara, bahan dan pengedap dipilih untuk memastikan tiada penghasilan zarah. Unit ini direka untuk operasi 24/7, dengan komponen dan reka bentuk terma yang dinilai untuk tugas berterusan, serta integrasi ke dalam peralatan proses sedia ada melalui antara muka standard.</p>