http://ir-heat-work.com/ko/tags/rtp/ Recent content in RTP on Professional IR Heat Solutions Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 04:08:02 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Sun, 07 Jun 2026 04:08:02 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="RTP 시스템용 할로겐 램프"></p> <h1 id="공정-현장에서-열-예산은-제안이-아니라-계약이다">공정 현장에서 열 예산은 제안이 아니라 계약이다</h1> <p>웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5℃의 온도 변동만으로도 임계 치수가 이동하고, 도핑 프로파일이 어긋나며, 수시간의 리소그래피 작업이 무용지물이 된다. RTP에서는 이 계약이 할로겐 램프에서 운영된다.</p> http://ir-heat-work.com/ko/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ Thu, 04 Jun 2026 03:53:07 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/mattson-rtp-lamp-replacement/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="매트슨 RTP 램프 교체"></p> <p>램프가 <a href="https://henruite.com">Mattson</a> RTP 장비에서 고장 나면 단순한 가동 중단 이상의 문제입니다. 열 예산을 잃게 되고, 포토레지스트의 베이크 프로필이 변화하며, 갑자기 파티클 발생이 심해져 로트를 폐기할 위험에 직면하게 됩니다. 공정을 재검증해야 하는 임시 방편이 필요하지 않습니다. 원래 제품과 정확히 동일하게 작동하는 교체 부품이 필요합니다.</p>