http://ir-heat-work.com/ko/tags/%ED%98%84%EB%AF%B8%EA%B2%BD/ Recent content in 현미경) on Professional IR Heat Solutions Hugo ko Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="AFM(원자력 현미경) 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는 샘플의 온도가 단 0.5도만 변해도 AFM 스캔이 제대로 이루어지지 않습니다. 포토레지스트의 성능——부드러운 건조 과정, 강한 건조 과정, 그리고 그에 따른 치수 제어 등——은 모두 온도에 의해 결정됩니다. 만약 히터가 0.1°C 미만의 정밀도로 설정된 온도를 유지할 수 없다면, 그건 실제 측정이 아니라 추측에 불과합니다.</p>