http://ir-heat-work.com/ko/tags/%EC%8B%9C%EC%8A%A4%ED%85%9C/ Recent content in 시스템 on Professional IR Heat Solutions Hugo ko Sun, 07 Jun 2026 04:08:02 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ Sun, 07 Jun 2026 04:08:02 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/halogen-lamp-for-rtp-system/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="RTP 시스템용 할로겐 램프"></p> <h1 id="공정-현장에서-열-예산은-제안이-아니라-계약이다">공정 현장에서 열 예산은 제안이 아니라 계약이다</h1> <p>웨이퍼 전체에 걸쳐 0.5℃의 온도 변동만으로도 임계 치수가 이동하고, 도핑 프로파일이 어긋나며, 수시간의 리소그래피 작업이 무용지물이 된다. RTP에서는 이 계약이 할로겐 램프에서 운영된다.</p>