http://ir-heat-work.com/ko/tags/%EC%84%9D%ED%8C%90-%EC%9D%B8%EC%87%84%EC%88%A0/ Recent content in 석판 인쇄술 on Professional IR Heat Solutions Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 10:14:21 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/asml-lithography-lamp-spare/ Wed, 03 Jun 2026 10:14:21 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/asml-lithography-lamp-spare/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="ASML 리소그래피 램프 예비 부품"></p> <p>Fab 라인에서 램프 고장은 가동 중단이 아니라 곧 폐기다. ASML 리소그래피 램프가 성능 저하를 보이면 소프트 베이크가 변동되고, 라인폭 제어에 문제가 생기며 수율에 영향을 미친다. 우리는 이 ASML 리소그래피 램프 예비 부품을 열 예산을 정확히 유지하도록 설계하여, 24시간 연속 가동 시에도 공정이 규격 내에서 유지되도록 했다.</p>