http://ir-heat-work.com/ko/tags/%EB%A7%9E%EC%B6%A4%ED%98%95/ Recent content in 맞춤형 on Professional IR Heat Solutions Hugo ko Thu, 25 Jun 2026 05:09:11 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 25 Jun 2026 05:09:11 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="웨이퍼용 맞춤형 적외선 히터"></p> <p>리소그래피 공정에서는, 포토레지스트를 가열할 때 발생하는 0.5°C의 온도 변화만으로도 패턴의 정밀도가 떨어질 수 있으며, 불순물이 존재하면 웨이퍼가 손상될 수 있다는 것을 금방 알게 됩니다. 웨이퍼 가열은 반복적이고 깨끗하며 빠르게 이루어져야 합니다. 모든 사이클, 모든 로트에 있어서도 마찬가지입니다. 예외는 없습니다.</p>