http://ir-heat-work.com/ko/tags/%EA%B0%90%EC%86%8C%EC%8B%9C%ED%82%A4%EA%B8%B0/ Recent content in 감소시키기 on Professional IR Heat Solutions Hugo ko Tue, 09 Jun 2026 03:55:48 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/reducing-energy-in-fab-drying/ Tue, 09 Jun 2026 03:55:48 +0800 http://ir-heat-work.com/ko/posts/reducing-energy-in-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="제조 공정 건조 시 에너지 절감"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>공장 현장에서 건조 라인이 소모하는 모든 와트는 면밀하게 분석된다. 에너지 비용이 지나치게 상승하면 포토레지스트의 무결성에 위험을 감수할 수 없다. 열 균일성이 벗어나면 선폭 제어와 결함 성능이 무너진다. 우리는 제조 라인의 건조 공정 에너지를 절감하면서도 제로 허용오차 영역 내에서 공정을 유지할 수 있도록 건조 플랫폼을 설계했다.</p>