http://ir-heat-work.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Professional IR Heat Solutions Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:43:54 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/durable-photoresist-bake-heater/ Thu, 18 Jun 2026 04:43:54 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/durable-photoresist-bake-heater/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="耐久性の高いフォトレジスト焼成ヒーター"></p> <p>製造現場では、フォトレジストの焼成を単に温度で判断するわけではありません。むしろ、稼働時間や<a href="https://goldisgood.com">粒子</a>数の増加がないか、何千枚ものウェーハ<a href="https://o-yate.com">全体</a>でCD値が一定であるかといった点を重視します。もし焼成用ヒーターの性能が低下したり故障したりすると、<a href="https://henruite.com">生産</a>ラインが停止してしまい、製品やエネルギーが無駄になってしまいます。</p> <p><strong>私たちが作ったもの、そしてその重要性</strong> 私たちは、短波赤外線素子と石英強化型の断熱構造を用いてこのフォトレジスト焼成用ヒーターを開発しました。これにより、ウェーハ全体で±0.1℃の精度で均一な温度制御が可能になります。ヒーター本体はクリーンルームクラス1～100に適合しており、密閉された接続部と低ガス放出設計により、粒子の発生を<a href="https://o-yate.net">完全</a>に抑えています。</p> http://ir-heat-work.com/ja/posts/photoresist-pre-bake-infrared-heater/ Fri, 05 Jun 2026 04:28:02 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/photoresist-pre-bake-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="フォトレジスト前焼き赤外線ヒーター"></p> <h1 id="ファブフロアでのリスク">ファブフロアでのリスク</h1> <p>ファブフロアでは、リスクを理解しています。フォトレジストのソフトベーク中に1℃の変動があると、露光前に300mmのウェハーが廃棄されてしまう可能性があります。従来のホットプレートはエッジのロールオフに対抗しますが、熱遅れはロット間の再現性の問題を引き起こします。スピンコーティングと連携し、リソグラフィーでのターゲットに確実に到達する熱処理が必要です。</p>