http://ir-heat-work.com/ja/tags/%E3%83%97%E3%83%AC/ Recent content in プレ on Professional IR Heat Solutions Hugo ja Fri, 05 Jun 2026 04:28:02 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/photoresist-pre-bake-infrared-heater/ Fri, 05 Jun 2026 04:28:02 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/photoresist-pre-bake-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="フォトレジスト前焼き赤外線ヒーター"></p> <h1 id="ファブフロアでのリスク">ファブフロアでのリスク</h1> <p>ファブフロアでは、リスクを理解しています。フォトレジストのソフトベーク中に1℃の変動があると、露光前に300mmのウェハーが廃棄されてしまう可能性があります。従来のホットプレートはエッジのロールオフに対抗しますが、熱遅れはロット間の再現性の問題を引き起こします。スピンコーティングと連携し、リソグラフィーでのターゲットに確実に到達する熱処理が必要です。</p>