http://ir-heat-work.com/ja/tags/%E3%83%91%E3%83%8D%E3%83%AB/ Recent content in パネル on Professional IR Heat Solutions Hugo ja Sun, 28 Jun 2026 06:09:32 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ Sun, 28 Jun 2026 06:09:32 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="セラミック式赤外線ヒーターパネル"></p> <p><a href="https://goldisgood.com">製造現場</a>において、フォトレジストのベイク処理は「あれば良いもの」ではなく、不可欠な工程です。もしベイクの条件がわずかにずれてしまうだけで、ウェハ上の重要な寸法が変動してしまいます。また、ハードベイク時に均一性が失われると、歩留まりが低下してしまいます。私たちは、そのようなばらつきを抑えるためにセラミック式の赤外線ヒーターパネルを開発しました。これにより、24時間365日稼働するリソグラフィ装置でも、常に安定した温度管理が<a href="https://henruite.com">可能</a>になります。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> このパネルは、迅速かつ局所的に加熱できるように設計されています。ウェハ全体の均一性は±0.1℃以内に保たれ、サイクルごとに再現性も安定しています。また、粒子の発生もないため、クリーンルーム内の粒子数もクラス1～100の範囲内に保たれます。電力供給も安定しており、熱量の制御も厳密に行われるため、ロットごとにフォトレジストの<a href="https://o-yate.com">状態</a>が一定に保たれます。</p>