http://ir-heat-work.com/ja/tags/%E3%82%AB%E3%82%B9%E3%82%BF%E3%83%A0/ Recent content in カスタム on Professional IR Heat Solutions Hugo ja Thu, 25 Jun 2026 05:09:11 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 25 Jun 2026 05:09:11 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="ウェハ用カスタム赤外線ヒーター"></p> <p>リソグラフィーの工程では、フォトレジストを加熱する際に0.5℃の温度変動があるだけで、回路の精度が悪くなってしまうことがあります。また、粒子の混入によって多くのウェーハが破損してしまうこともあります。ウェーハの加熱は、毎回、すべてのロットにおいて、再現性があり、迅速かつ正確に行われなければなりません。例外は許されません。</p>