http://ir-heat-work.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%83%83%E3%82%AF%E3%82%B9%E3%83%95%E3%82%A9%E3%83%BC%E3%83%89/ Recent content in オックスフォード on Professional IR Heat Solutions Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 05:31:36 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/oxford-instruments-heater-element/ Fri, 26 Jun 2026 05:31:36 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/oxford-instruments-heater-element/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="オックスフォード・インストゥルメンツのヒーター素子"></p> <p>リソグラフィープロセスにおいては、ソフトベイクの際にわずか0.5度の誤差があっても、CDの位置が変わってしまうことをすぐに理解する必要があります。ハードベイクを過度に高温で行うと、表面に汚れが発生したり、歩留まりが低下したりします。熱制御は単なる調整項目ではなく、オーバーレイや線幅、欠陥の発生率を制御するための重要な要素です。オックスフォード・インスツルメンツのヒーター素子は、このような状況に対応するために設計されており、プロセスが必要とする場所に正確な熱を供給します。</p>