http://ir-heat-work.com/ja/tags/%E3%82%AA%E3%82%BE%E3%83%B3/ Recent content in オゾン on Professional IR Heat Solutions Hugo ja Sun, 21 Jun 2026 06:44:34 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Sun, 21 Jun 2026 06:44:34 +0800 http://ir-heat-work.com/ja/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="オゾンフリー赤外線ランプ"></p> <p><a href="https://goldisgood.com">製造</a>ライン上では、焼成プロファイルが数度程度ずれるだけで、ウェーハの寸法制御が乱れ、フォトレジストが剥がれてしまい、良品のウェーハがスクラップになってしまいます。私たちは、このような<a href="https://henruite.com">現実</a>に対処するために、オゾンフリーの赤外線ランプを開発しました。目的は、熱変動が生じないように、安定した温度を維持することです。</p> <p>実際に重要なのは、負荷下での再現性です。当社のNIRエミッターは瞬時に所定の温度に到達し、焼成エリア全体でウェーハの温度を±0.1℃以内に保ちます。そのため、ソフトベイクやハードベイクの<a href="https://o-yate.com">設定値</a>も、バッチごとに変わることはありません。オゾンフリーの方式により、チャンバー内の汚染が防がれ、粒子数も抑えられます。その結果、クリーンルームのクラス1～100にも適合します。5,000時間以上使用しても、光束や温度の変動は5％<a href="https://o-yate.net">未満</a>です。</p>