Riscaldatore per essiccazione del fotorestist duraturo

Thu, 18 Jun 2026 04:43:54 +0800

Nelle linee di produzione, non si valuta il funzionamento del riscaldatore per il trattamento del fotoresist solo in base ai gradi di temperatura. Si valuta piuttosto il tempo di funzionamento costante del dispositivo, il numero di particelle presenti nell’ambiente di lavoro, e la coerenza delle caratteristiche dei wafer prodotti. Quando il riscaldatore smette di funzionare correttamente, la linea di produzione si ferma: in tal caso si perdono prodotti e si spreca energia.

Cosa abbiamo costruito e perché è importante
Abbiamo progettato questo riscaldatore per il trattamento del fotoresist utilizzando un elemento a infrarossi a onde corte e una struttura termica rinforzata con quarzo. In questo modo si ottiene una uniformità delle temperature entro ±0,1°C a livello di ogni singolo wafer. Il corpo del riscaldatore è progettato per funzionare in ambienti puliti di classe 1–100: i collegamenti sono sigillati e l’architettura del dispositivo riduce al minimo la generazione di particelle.

Durevole on Professional IR Heat Solutions

Riscaldatore per essiccazione del fotorestist duraturo