Riscaldatore per essiccazione del fotorestist duraturo
Nelle linee di produzione, non si valuta il funzionamento del riscaldatore per il trattamento del fotoresist solo in base ai gradi di temperatura. Si...
Riscaldatore a infrarossi per pre asciugatura del photoresist
Sulla fabbrica Sul pavimento della fabbrica, conosci i rischi. Una variazione di 1°C durante il pre-bake del fotoresist può compromettere un wafer da...