Lampada di ricambio per litografia ASML

Wed, 03 Jun 2026 10:14:21 +0800

Sulla linea di produzione, un guasto della lampada non significa fermo macchina, ma scarto. Quando la lampada di litografia ASML inizia a perdere prestazioni, la fase di soft bake devia, il controllo della linewidth si indebolisce e il rendimento ne risente. Abbiamo realizzato questi ricambi per lampade di litografia ASML per mantenere esattamente il budget termico, così il processo resta conforme anche in operazioni 24/7.

Aspetti tecnici rilevanti
Questi ricambi garantiscono una temperatura ripetibile, con uniformità a livello wafer entro ±0,1°C. Questo è cruciale perché una piccola variazione in una fase critica di bake può rapidamente modificare CD e profilo. La busta in quarzo e l’output ottimizzato nello spettro alogeno/NIR assicurano una stabilità nell’erogazione di energia, mantenendo costante la cottura e la reticolazione del photoresist.

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Lampada di ricambio per litografia ASML