http://ir-heat-work.com/he/tags/%D7%A4%D7%90%D7%A0%D7%9C/ Recent content in פאנל on Professional IR Heat Solutions Hugo he Sun, 28 Jun 2026 06:09:32 +0800 http://ir-heat-work.com/he/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ Sun, 28 Jun 2026 06:09:32 +0800 http://ir-heat-work.com/he/posts/ceramic-infrared-heater-panel/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="פנל חימום אינפרא אדום מקרמי"></p> <p>בקו הייצור, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו דבר שניתן לוותר עליו – זו נקודת המפתח בתהליך. חימום לא מדויק, אפילו במעט, עלול לגרום לשינויים בממדים החשובים של הוואפר. אם אין אחידות בחימום, התוצאות יהיו לא איכותיות. פיתחנו את לוחות החימום באמצעות חומרי קרמיקה, כדי לשלוט בשינויים האלו, וכך לאפשר למכונות הליתוגרפיה לפעול 24/7 בתנאי טמפרטורה יציבים.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> לוחות אלו משתמשים בגופי פליטה באינפרא-אדום, שמאפשרים חימום מהיר וממוקד. האחידות בטמפרטורה על פני הוואפר נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות של התהליך נשמרת מדור לדור. העיצוב של לוחות אלו מונע היווצרות של חלקיקים, כך שרמת החלקיקים בחדר הנקי נשארת ברמה של Class 1–100. אספקת האנרגיה יציבה, ויש שליטה מדויקת על הטמפרטורה, כך שפרופילי הפוטורזיסט נשארים אחידים מלוט ללוט.</p>