On the fab floor, thermal budget isn’t a suggestion—it’s the contract. A half-degree swing across the wafer is enough to move critical dimensions, throw off doping profiles, and wipe out hours of lithography work. In RTP, that contract runs on the halogen lamp.
מה שבאמת קובע בפועל
אנחנו מספקים אינפרא-אדום בגל קצר שנקלט ישירות בסיליקון ו-photoresist, במהירות. גאומטריית הפילמנט וכיווני המראה מכוונים להשגת אחידות בתוך-הוויפר בטווח של ±0.1°C — בדיוק מה שדרוש לשליטה בתת-ננומטר. מעטפת הקוורץ והחיבורים ההרמטיים שומרים על ספירת חלקיקים מתחת לסף בחדרי נקיון Class 1–100.
צפיפות ההספק, המתח וממשקי החיבור מוגדרים כך שיוכלו להשתלב במידות תא ה-RTP שלך כמו שהם. כך מתקבלים פרופילים חוזרים של אפיית רך (soft bake) ואפיית קשה (hard bake) ללא כתמים חמים או אזורים קרים.
מדוע זה מחזיק מעמד בקו הייצור
נדרשת יציבות טמפרטורה שמחזיקה מעמד בעבודה 24/7, וזה מה שמספקות המנורות האלה. ההספק נשאר יציב לאורך 5,000+ שעות עם סטייה מינימלית, מה שמפחית עצירות לא מתוכננות והחלפות מנורות. התוצאה היא התנהגות צפויה של ה-photoresist, שליטה הדוקה יותר ב-CD ופחות צריכת אנרגיה לכל באצ’.
התאמת חדר נקי ואי-יצירת חלקיקים מגנים על התוצרת, במיוחד בצמתים מתקדמים שבהם מזהם אחד עלול להרוס וויפר שלם.
מה צריך לבדוק בזמן ההתקנה וההרצה
ההתקנה מתמקדת בכיוון אופטי מדויק ובקליברציה מותאמת לתא. אם המראות לא תואמות או המנורה מונחת באופן שגוי, האחידות מתפרקת.
יש לתכנן התמודדות עם עייפות תרמית בבסיס המנורה ובחיווט — להשתמש בחיבורים מדורגים ולהקפיד על מומנט פיתול ומרווחים לפי המפרט. הפעלה במתח המוגדר היא חובה. הגברת המתח מקצרת את חיי המנורה ומזיזה את הספקטרום, מה שגורם לפרופיל התרמי לא להיות אמין.
ביצוע כיוון נכון והפעלת המנורה בתוך המפרט שומרים על תהליך בשליטה, משמרת אחר משמרת.