Chauffeur d AFM (Microscope à force atomique)

Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800

Sur le poste de lithographie, un balayage par AFM échoue complètement si la température de l’échantillon varie ne serait-ce que de demi-degré. Le comportement du photorésiste – son durcissement, ainsi que le contrôle des dimensions – dépend entièrement des conditions thermiques. Si le chauffage ne parvient pas à maintenir une température constante avec une précision inférieure à 0,1 °C, alors on ne mesure rien ; on se contente de deviner.

Ce qui est important sur le plan technique Nous concevons ces chauffages pour AFM en tenant compte de trois critères : la stabilité thermique, le fonctionnement en environnement propre, et la reproductibilité. L’appareil parvient à maintenir une température constante de ±0,1 °C sur une plage allant de 25 °C à 300 °C, avec une précision pouvant être vérifiée à l’aide d’un standard de référence calibré. La construction utilise du quartz de haute pureté et des éléments infrarouges à courte longueur d’onde afin de réduire les émissions gazeuses et la formation de particules. Les finitions de surface et les systèmes de fermeture sont conçus pour fonctionner dans des environnements propres de classe 1 à 100, ce qui permet de garder le nombre de particules à un niveau bas et d’éviter toute contamination. Le contrôle est assuré par un système de boucle fermée avec un profil PID stable, ce qui permet aux séquences de durcissement du photorésiste de se dérouler dans les limites prévues par le processus, sans excès.

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Chauffeur d AFM (Microscope à force atomique)