Comment tirer le meilleur parti du processus de rinçage et de séchage des wafer
Lorsque vous utilisez une station de rinçage, l’objectif est assez simple : faire en sorte que le wafer soit complètement sec rapidement, sans que le substrat ne soit endommagé ou que des impuretés ne s’accumulent sur sa surface.
Pour y parvenir, nous utilisons des lampes infrarouges étanches à l’eau. Mais le vrai secret réside pas dans les lampes elles-mêmes, mais plutôt dans les réflecteurs recouverts d’or que nous utilisons en complément.
Les réflecteurs en aluminium classiques sont acceptables, mais ils absorbent beaucoup trop d’énergie. L’or, lui, permet de renvoyer une plus grande proportion de l’énergie infrarouge vers le wafer. Au lieu de perdre de la chaleur dans le boîtier, l’énergie est directement transférée au wafer.
Pourquoi choisir l’or ?
C’est une question de gaspillage d’énergie. Lorsqu’une lampe à haute puissance fonctionne, une grande quantité de chaleur veut naturellement s’échapper. Le boîtier recouvert d’or capture cette énergie inutile et la renvoie là où elle doit être.
Le résultat ? Des températures de surface plus élevées, sans avoir besoin d’augmenter la puissance des lampes. Il ne s’agit pas d’ajouter plus d’énergie, mais plutôt de s’assurer que l’énergie disponible atteint bien le wafer.
Les défis
Comme il s’agit de processus de rinçage, l’humidité et les vapeurs chimiques sont omniprésentes. Nous scellons donc les extrémités des composants pour protéger les filaments et éviter tout court-circuit.
Il faut également faire attention au budget thermique. Comme ces réflecteurs en or concentrent très bien la chaleur, le point focal devient extrêmement chaud. Si le convoyeur tombe en panne ou si un wafer reste sous la lampe pendant trop longtemps, le substrat risque de surchauffer. C’est pourquoi nous recommandons l’utilisation de contrôleurs PID précis. Ils permettent de maintenir des températures stables et d’éliminer ces points chauds dangereux.
Les avantages
Quand cela fonctionne bien, c’est génial. Vous n’avez pas besoin de tant de lampes pour atteindre la température souhaitée. Cela signifie que l’espace nécessaire pour installer l’équipement diminue, et que les panneaux électriques ne subissent pas une charge excessive. De plus, le séchage se fait plus rapidement, et la température est uniforme sur tout le wafer. C’est simplement une manière plus intelligente d’exploiter au maximum chaque watt d’énergie disponible.