گرمکن مادون قرمز برای خشک کردن ویفرها
با تماشای لحظهای که ویفر از مرحله شستشوی نهایی خارج میشود، متوجه میشوید که زمان در حال گذر است. اگر گرما دیر وارد شود یا به طور یکنواخت نباشد، به...
کاهش انرژی در خشککردن کارخانه
درون دستگاه چه اهمیتی دارد ما منابع NIR را با کنترل حلقه بسته ترکیب میکنیم تا یکنواختی سطح ویفر را در ±0.1°C در طول پروفیل پخت به دست آوریم. نقاط...