برداشتن حداکثر بهره از فرآیند شستشو و خشککردن ویفرها
هنگام استفاده از دستگاههای شستشو، هدف کاملاً واضح است: خشک کردن سریع ویفرها، بدون اینکه سطح آنها دچار آسیب شود یا مواد ناخواسته روی سطح آنها تجمع کند.
برای این منظور، از لامپهای مادون قرمز ضدآب استفاده میکنیم. اما راز واقعی در خود لامپ نیست؛ بلکه در بازتابندههای طلایی است که با آنها استفاده میشود.
بازتابندههای آلومینیومی معمولی، البته قابل استفاده هستند؛ اما انرژی زیادی را جذب میکنند. اما طلا متفاوت است؛ طلا درصد بسیار بیشتری از انرژی مادون قرمز را دوباره به سمت ویفرها بازتاب میدهد. در نتیجه، گرمای اضافی از بین نمیرود و انرژی بیشتری مستقیماً به ویفرها منتقل میشود.
چرا باید از طلا استفاده کرد؟
دلیل آن، کاهش هدررفت انرژی است. وقتی لامپهایی با توان بالا در حال کار هستند، گرمای زیادی تولید میشود. بازتابندههای طلایی، این انرژی اضافی را جذب کرده و دوباره آن را به سمت ویفرها بازمیگردانند.
نتیجه این کار، داشتن دمای سطحی بالاتر، بدون نیاز به افزایش توان لامپهاست. موضوع این نیست که انرژی بیشتری وارد دستگاه شود؛ بلکه موضوع این است که انرژی موجود واقعاً به ویفرها برسد.
مشکلات موجود
از آنجایی که ما با محیطی پر از رطوبت و بخارات شیمیایی سروکار داریم، باید انتهای دستگاه را مهر و موم کنیم تا فیلامنتها در امان بمانند و از بروز قطعات الکتریکی جلوگیری شود.
اما باید مراقب میزان انرژی مصرفی نیز باشیم. چون بازتابندههای طلایی در تمرکز کردن گرما بسیار خوب عمل میکنند، نقطه تمرکز گرما بسیار شدید میشود. اگر سیستم انتقال ویفرها دچار مشکل شود یا ویفر برای مدت طولانی زیر لامپ باقی بماند، سطح ویفر دچار گرمای بیش از حد خواهد شد. به همین دلیل، پیشنهاد میشود از کنترلکنندههای PID دقیق استفاده کنیم؛ این کنترلکنندهها باعث ثبات عملکرد دستگاه و جلوگیری از ایجاد نقاط گرم بیش از حد میشوند.
مزایای این روش
وقتی این روش به خوبی کار کند، نتایج عالی خواهد داشت. نیازی به استفاده از تعداد زیادی لامپ نیست؛ در نتیجه، فضای اشغال شده توسط دستگاه کاهش مییابد و پنلهای الکتریکی نیز تحت فشار زیاد قرار نمیگیرند. همچنین، سرعت خشککردن ویفرها بالاتر میشود و سطح خشک شده ویفرها یکنواخت خواهد بود. این روش، روشی هوشمندانه برای استفاده بهینه از انرژی است.