Calentador duradero para el secado del fotorresistente
En el área de producción, no se evalúa la calidad del proceso de secado del fotoreactivos únicamente en función de las temperaturas alcanzadas. Se...
Calentador por infrarrojos para prehornear fotoresistencias
En el piso de fabricación, conoces las implicaciones. Un cambio de 1°C durante el prehorneado del fotoresistente puede inutilizar un wafer de 300 mm...