Vakuum on Professional IR Heat Solutions

Vakuumkompatibler Infrarotheizer

Mon, 20 Jul 2026 11:54:30 +0800

Wie man verhindert, dass die Vakuum-IR-Lampen explodieren

Das Problem bei der Verwendung von Infrarotheizern im Vakuum ist folgendes: Die Physik ändert sich. In normalem Luftdruck helfen die Gase um die Lampe herum dabei, die Elektrizität dort zu halten, wo sie hingehört. Doch sobald ein Vakuum entsteht, verschwindet dieses „Sicherheitsnetz“. Das Risiko eines schädlichen elektrischen Stromschlags steigt stark an.
Deshalb überprüfen wir unsere Lampen nicht nur kurz. Jede einzelne Lampe, die unser Werk verlässt, wird einer vollständigen Prüfung auf Spannungsbeständigkeit und Isolationswiderstand unterzogen – ohne Ausnahmen.

Infrarotheizer für Vakuumkammern

Sun, 19 Jul 2026 16:36:02 +0800

Die richtige Temperatursteuerung in einer Smart Factory
Wenn Sie eine Smart Factory für die Industrie 4.0 aufbauen, haben Sie sicherlich erkannt, dass die traditionellen Methoden der Temperatursteuerung nicht mehr ausreichen. Diese herkömmlichen Widerstandsheizungen sind einfach zu langsam. Wenn die gesamte Produktionslinie digitalisiert ist und mit hoher Geschwindigkeit arbeitet, kann man es sich nicht leisten, Zeit damit zu verschwenden, bis die Kammer vollständig aufgewärmt ist.

Deshalb nutzen wir vacuumkompatible Infrarot-Systeme. Sie ermöglichen eine schnelle Temperatursteuerung – quasi einen „Sofort-Anschluss“ für die Temperaturkontrolle.

Leybold Vakuumheizer Ersatzteil

Sat, 06 Jun 2026 04:20:21 +0800

Auf dem Fertigungsboden führt eine thermische Abweichung beim Soft Bake oder Hard Bake nicht nur zu einer leichten Einbuße beim Ertrag – sie zerstört ihn. Wenn ein Leybold Vakuum-Heizer zu driftenden Temperaturen neigt, kollabieren Fotolackprofile, die CD-Uniformität weicht ab und es entstehen Ätz-Bias. Wir haben diese Leybold Vakuum-Heizer-Ersatzteile entwickelt, um das thermische Budget über Zyklus für Zyklus korrekt einzuhalten.

Folgendes ist dabei entscheidend: Die Heizerbaugruppen gewährleisten eine Wafer-Durchschnittstemperaturgleichmäßigkeit von ±0,1°C über den gesamten Chuck, sodass Ihre Soft Bake- und Hard Bake-Profile reproduzierbar sind – unabhängig davon, ob Sie G-Line-, I-Line- oder KrF-Resists einsetzen. Die Quarz-Halogen-Elemente mit kurzwelligem Spektrum ermöglichen schnelle, saubere Rampen ohne Ausgasung.