Sensor on Professional IR Heat Solutions

Heizgerät zum Trocknen von MEMS Sensorwafern

Sat, 18 Jul 2026 04:33:34 +0800

Die Schrapnellschäden vermeiden: Die MEMS-Wafer sauber halten
In einer MEMS-Fabrik ist das Versagen einer Infrarotlampe mehr als nur eine Belastung – es ist ein Albtraum. Stellen Sie sich vor, ein Quarztubus versagt unter hoher Belastung. Er hört nicht einfach auf zu funktionieren – er explodiert stattdessen und verspritzt winzige Glasstücke sowie Metallpartikel auf die Oberfläche der Wafer. Dadurch geht der Ertrag der Wafer verloren. Wir konstruieren unsere Infrarot-Heizgeräte so, dass so etwas nie passiert.

Warum die Tuben eigentlich zerbrechen
In der Regel liegt das Problem an thermischen Spannungen oder kleineren elektrischen Entladungen direkt am Verschluß des Tubus. Wenn man die Produktion bis an ihre Grenzen treibt, werden diese Tubus stark belastet. Um dem entgegenzuwirken, verwenden wir hochreinen synthetischen Quarz. Dieser hat einen sehr niedrigen Wärmeausdehnungskoeffizienten – das bedeutet, er kann starke Temperaturschwankungen aushalten, ohne zu zerbrechen. Er ist also dafür ausgelegt, den Belastungen standzuhalten.

Präziser IR Sensor für Wafer

Fri, 17 Jul 2026 07:54:44 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man einen Reinraum der Klasse 100 betreibt, ist selbst ein winziger Staubkorn oder eine kleine Gaswolke während des Erhitzens der Wafer kein kleines Problem – das ist vielmehr eine Katastrophe. Die meisten herkömmlichen Heizelemente können damit nicht umgehen. Sie dehnen und ziehen sich beim Erhitzen aus, wodurch ständig Mikropartikel freigesetzt werden. Das ist ein Albtraum für die Qualität der Produkte.

Wir lösen dieses Problem, indem wir für unsere Infrarotlampen hochreinen synthetischen Quarz verwenden.

Intelligente Sensorverpackung für Infrarotstrahlen

Sat, 11 Jul 2026 09:19:24 +0800

Wie man einen Reinraum der Klasse 100 wirklich sauber hält
Wenn man intelligente Sensoren verpackt, reicht es nicht aus, wenn der Raum nur „fast“ sauber ist. Es muss völlig frei von Verunreinigungen sein – Punkt.
Das Problem ist, dass die meisten Heizelemente in einem Reinraum der Klasse 100 ein Albtraum sind. Sie geben Partikel ab und lassen flüchtige organische Verbindungen entweichen. Im Grunde genommen sorgen sie dafür, dass unsichtbare „Abfälle“ überall im Raum verteilt werden.
Deshalb verwenden wir Infrarotlampen aus hochreinem synthetischem Quarz. Diese erzeugen keine solchen Probleme.

Temperatursensor für Wafer Werkzeuge

Thu, 09 Jul 2026 02:50:09 +0800

Direktionales Infrarotheizen: Wie wir die Werkzeuge bei der Halbleiterfertigung warm halten – ohne dass die Bediener Schaden nehmen
Das Problem bei Halbleiterfertigungsanlagen ist einfach: Störender Wärmeabfluss ist ein „Dieb“ – er stiehlt Energie, erhöht die Kosten und macht die Außenflächen der Werkzeuge zu gefährlichen Bereichen.

Um dieses Problem zu lösen, haben wir Infrarotheizlampen entwickelt. Sie liefern präzise, direktionale Wärme genau dort, wo sie benötigt wird – und belasten die Wände der Anlage nicht. Keine verschwendete Wärme, keine überhitzten Außenflächen. Nur gezielte Wärme, die ihre Aufgabe erfüllt.