http://ir-heat-work.com/de/tags/ozon/ Recent content in Ozon on Professional IR Heat Solutions Hugo de Sun, 21 Jun 2026 06:44:34 +0800 http://ir-heat-work.com/de/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Sun, 21 Jun 2026 06:44:34 +0800 http://ir-heat-work.com/de/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Ozonfreie Infrarotlampe"></p> <p>In der Fertigungshalle kann bereits eine Abweichung des Backprozesses von ein paar Grad dazu führen, dass die Kontrolle der kritischen Dimensionen nicht mehr funktioniert, der Photoresist beschädigt wird und gute Wafer zu Schrott werden. Wir haben unsere <a href="https://o-yate.com">ozongefreien</a> Infrarotlampen so konzipiert, dass sie mit dieser Realität umgehen können – anstatt dagegen anzukämpfen. Das Ziel ist eine konstante Wärmezufuhr, die sicherstellt, dass die Wafer weiterhin bewegt bleiben, ohne dass es zu thermischen Schwankungen kommt.</p> <p>Was wirklich wichtig ist, ist die Wiederholgenauigkeit unter Belastung. Unser NIR-Strahler erreicht schnell die gewünschte Temperatur und hält die Homogenität auf der Waferoberfläche bei ±0,1°C innerhalb der Backzone. Dadurch bleiben die Einstellungen für den sanften sowie intensiven Backvorgang von Batch zu Batch konstant. Der ozongefreie Ansatz verhindert außerdem Kontaminationen im Behälter und reduziert die Anzahl der Partikel – somit eignet sich diese Lösung auch für Reinräume der Klassen 1–100. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant, mit weniger als 5% Abweichungen in Bezug auf Lumen und Temperatur.</p>