Keramische Abschlusskappe für IR Emitter

Mon, 27 Jul 2026 09:15:32 +0800

Ihren Klasse-100-Reinraum wirklich sauber halten
Wenn Sie einen Reinraum der Klasse 100 betreiben, wissen Sie bereits, dass Luftfilter nur die halbe Miete sind. Das eigentliche Problem sind die Heizelemente.

Die meisten Standard-IR-Lampen werden durch billige Klebstoffe oder minderwertige Metalle zusammengehalten. Sobald diese Lampen beginnen zu heizen und abzukühlen – also im Zuge von thermischen Schwankungen – beginnen diese Materialien zu zerfallen. Sie blättern ab und geben Gase ab. In einem Umfeld mit hohen Anforderungen ist das eine Katastrophe.

Keramisches Infrarotheizpaneel

Sun, 28 Jun 2026 06:09:32 +0800

In der Fertigung ist das Erhitzen des Fotolacks keine „nette Zusatzfunktion“ – es ist vielmehr eine entscheidende Voraussetzung für einen reibungslosen Produktionsablauf. Eine zu schwache Erwärmung kann dazu führen, dass die kritischen Abmessungen des Chips durcheinandergeraten. Wenn bei der starken Erwärmung keine Homogenität herrscht, geht die Qualität des Produkts verloren. Wir haben unsere keramischen Infrarotheizpanelle so konstruiert, dass diese Unregelmäßigkeiten minimiert werden. Dadurch können die Lithografieanlagen 24/7 ohne Probleme arbeiten.

Was technisch wichtig ist:
Diese Heizpanelle nutzen keramische Infrarotemitter, die für eine schnelle, gezielte Erwärmung sorgen. Die Homogenität auf der Oberfläche des Chips liegt dabei bei ±0,1°C. Zudem bleibt die Wiederholgenauigkeit von Batch zu Batch konstant. Durch die Konstruktion entstehen keine Partikel, wodurch die Partikelzahl im Reinraum bei Klasse 1–100 bleibt. Die Stromzufuhr ist stabil, und es wird eine genaue Kontrolle über die Temperatur erreicht. Dadurch bleiben die Eigenschaften des Fotolacks von Charge zu Charge konstant.

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Keramische Abschlusskappe für IR Emitter

Keramisches Infrarotheizpaneel