http://ir-heat-work.com/de/tags/custom/ Recent content in Custom on Professional IR Heat Solutions Hugo de Thu, 25 Jun 2026 05:09:11 +0800 http://ir-heat-work.com/de/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ Thu, 25 Jun 2026 05:09:11 +0800 http://ir-heat-work.com/de/posts/custom-infrared-heater-for-wafer/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Individueller Infrarotheizer für Wafern"></p> <p>Im Bereich der Lithografie lernt man schnell, dass bereits eine Temperaturä<a href="https://o-yate.net">nderung</a> von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses des Photoresists zu Problemen führen kann. Zudem können Partikel dazu führen, dass viele Wafer beschädigt werden. Die Erhitzung der Wafer muss wiederholbar, präzise und schnell erfolgen – in jeder Schicht, bei jeder Charge. Es gibt keine Ausnahmen.</p> <p><strong>Was wirklich wichtig ist</strong> Wir entwickeln maßgeschneiderte Infrarotheizer für die Verarbeitung von Wafern. Dabei werden Kurz- oder Mittelwellenemitter verwendet, die optimal zum thermischen Bedarf passen. In der Trockenzone soll eine Temperatuneinheitlichkeit von ±0,1 °C <a href="https://henruite.com">erreicht</a> werden, wobei die Reaktionszeit auf Änderungen der Temperatur unter 2 Sekunden liegen sollte. Der Heizkörper besteht aus <a href="https://goldisgood.com">Quarz</a> sowie hochreinen Keramiken. Die Verbindungen zwischen den Komponenten sind dicht abgedichtet, damit keine Gase oder Verunreinigungen eindringen können.</p>