Langlebiger Heizer für das Trocknen von Fotolacken

Thu, 18 Jun 2026 04:43:54 +0800

In der Fertigungshalle wird die Qualität des Fotoresists nicht allein anhand der Temperatur bewertet. Vielmehr wird sie anhand der Betriebszeit, der Anzahl der Partikel sowie der Konstanz der CD-Werte über Tausende von Wafern beurteilt. Wenn der Heizkreis ausfällt, kommt die Produktion zum Stillstand – und dadurch gehen Produktionskapazitäten sowie Energie verloren.

Was wir entwickelt haben und warum das wichtig ist
Wir haben diesen Heizkreis für den Einsatz mit Fotoresist um ein Kurzwellen-Infrarotelement sowie einen mit Quarz verstärkten Wärmekreis herum konstruiert. So kann eine Homogenität auf Waferebene von ±0,1 °C erreicht werden. Der Heizer ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet: Die Verbindungen sind dicht verschlossen, und die Konstruktion sorgt dafür, dass keine Partikel entstehen.

Fotoresist Vorback Infrarotheizung

Fri, 05 Jun 2026 04:28:02 +0800

Auf der Fertigungsebene wissen Sie, worauf es ankommt.

Eine Temperaturschwankung von 1°C während des Soft-Bakes von Photoresist kann ein 300mm-Wafer unbrauchbar machen, bevor Sie überhaupt zur Belichtung kommen. Konventionelle Heizplatten kämpfen gegen Randrolloff, und thermische Verzögerungen führen weiterhin zu Wiederholbarkeitsproblemen von Charge zu Charge. Sie benötigen einen Wärmeansatz, der mit dem Spin-Coating Schritt hält und beim Lithografieren präzise trifft.

Was unter der Haube wichtig ist
Wir führen das Pre-Bake von Photoresist mit Infrarot-Heizern durch: schnelle, strahlende Wärme mit enger Temperaturkontrolle. Kurzwellige IR-Elemente reagieren in weniger als einer Sekunde, sodass die Verzögerung, die innerhalb des Wafers zu Nicht-Uniformität führt, entfällt. Die Wafer-Ebene-Uniformität erreicht ±0,1°C über die gesamte Fläche, und die Wiederholbarkeit des Sollwerts bleibt innerhalb von ±0,2°C von Charge zu Charge stabil. Diese Heizgeräte sind bequem in Reinräumen der Klasse 1–100 installiert, mit null Partikelausstoß und geringer Ausgasung. Die Regelung im geschlossenen Regelkreis hält das thermische Budget stabil, sodass kritische Abmessungen nach dem Soft-Bake und der anschließenden Belichtung innerhalb der Spezifikationen bleiben.

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Langlebiger Heizer für das Trocknen von Fotolacken

Fotoresist Vorback Infrarotheizung

Auf der Fertigungsebene wissen Sie, worauf es ankommt.