http://ir-heat-work.com/de/tags/atomar/ Recent content in (Atomar) on Professional IR Heat Solutions Hugo de Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800 http://ir-heat-work.com/de/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ Tue, 30 Jun 2026 13:08:31 +0800 http://ir-heat-work.com/de/posts/afm-atomic-force-microscope-heater/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Heizer für AFM (Atomkraftmikroskop)"></p> <p>Im Bereich der Lithografie ist eine AFM-Erkundung nutzlos, wenn die Temperatur des Probenmaterials um auch nur einen halben Grad schwankt. Das Verhalten des Fotoleitmittels – sowohl bei der Weichbrenn- als auch bei der Hartbrennprozedur – sowie die Kontrolle der Dimensionen hängen alle von der Temperatur ab. Wenn der Heizer keine Konstanz innerhalb von 0,1 °C erreichen kann, dann handelt es sich nicht um eine genaue Messung, sondern nur um Schätzungen.</p> <p><strong>Was technisch wichtig ist:</strong><br> Wir konstruieren diese AFM-Heizer unter Berücksichtigung dreier Faktoren: thermische Stabilität, Funktionsfähigkeit in Reinräumen und Wiederholgenauigkeit. Der Heizer erreicht eine Konstanz von ±0,1 °C auf Waferebene bei Temperaturen zwischen 25 °C und 300 °C – und das in Abhängigkeit von einem kalibrierten Referenzstandard. Die Konstruktion verwendet hochreinen Quarz sowie Kurzwellen-NIR-Elemente, um Ausgasungen und Partikelbildung zu minimieren. Die Oberflächenbeschichtungen sowie Dichtungen sind so gestaltet, dass sie für den Betrieb in Reinräumen der Klassen 1–100 geeignet sind. Dadurch bleiben die Partikelzahlen niedrig und es kommt zu keiner Kontamination. Die Steuerung erfolgt über einen geschlossenen Regelkreis mit einem stabilen PID-Profil – dadurch bleiben die Verarbeitungsparameter innerhalb der zulässigen Grenzen.</p>