Man kann sehen, wie die Wafer nach der letzten Spülung herauskommen – dadurch weiß man, dass die Zeit drängt. Wenn die Wärme zu spät einwirkt oder gar nicht ausreicht, entstehen schnell Wasserflecken sowie Probleme mit der Beschichtung des Photoresists. Wir haben Infrarotheizer entwickelt, um diesen Prozess bereits im Vorfeld zu verhindern.
Was wirklich wichtig ist
Wir nutzen Kurzwellen-Infrarotstrahler in kompakten Quarzkörpern. Dadurch erfolgt eine direkte Energieübertragung mit geringer thermischer Masse – das ermöglicht eine schnelle Reaktion und präzise Steuerung. Unter den Bedingungen der Produktionsluft halten wir die Temperatur auf den Wafern innerhalb der Trocknungszone bei ±0,1°C konstant.
Die Steuerung erfolgt über einen kalibrierten Sensor – nicht über die Wand der Kammer. So bleibt die Reproduzierbarkeit von Charge zu Charge konstant. Der Heizkörper ist für Reinräume geeignet (Klasse 1–100). Die Oberflächen sind so gewählt, dass Partikelbildung und Ausgasung minimiert werden. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg stabil – mit weniger als 5% Intensitätsverlust bei konstanter Belastung.
Warum das in der Lithografie und beim Photoresist-Prozess funktioniert
Im Lithografie- und Photoresist-Prozess ist das thermische Gleichgewicht sehr wichtig. Die Temperaturen müssen genau kontrolliert werden, damit die Qualität des Produkts erhalten bleibt. Unsere Infrarotheizer trocknen die Wafer schnell, ohne dass es zu Überschreitungen kommt. Dadurch bleibt die Integrität des Photoresists erhalten und die Kontrolle der Linienbreite bleibt konstant.
Man erhält also Geschwindigkeit, ohne Kompromisse bei der Homogenität einzugehen. Zudem wird der Energieverbrauch reduziert, da die Wärme genau dorthin gelangt, wo sie benötigt wird. Das Ergebnis sind stabile Defektzahlen, vorhersehbares Trocknungsverhalten und weniger Nacharbeiten.
Einige praktische Hinweise
Bei der Installation müssen die Montagetoleranzen berücksichtigt werden, außerdem muss die Luftzufuhr richtig gesteuert werden. Um die gewünschte Homogenität von ±0,1°C zu erreichen, ist ein stabiler laminarer Luftstrom erforderlich – außerdem dürfen keine störenden Luftströmungen in die Zone gelangen. Der Heizkörper kann mit herkömmlichen Halbleiterwerkzeugen verbunden werden – doch bei der Integration muss auf Abstände, thermische Lasten sowie die Positionierung des Sensors geachtet werden.
Der Heizkörper hat eine lange Lebensdauer – doch der Temperatursensor muss weiterhin regelmäßig kalibriert werden. Nur so bleibt die gewünschte Homogenität über die Zeit aufrecht.