Na výrobní hale termální výkyv při soft bake nebo hard bake nejen že mírně ovlivní výtěžnost — v některých případech ji úplně znehodnotí. Když...

Na výrobní hale není selhání lampy prostou prostojovou událostí – znamená šrot. Když ASML lithografická lampa začne podávat nižší výkon, měknutí...