http://ir-heat-work.com/cs/tags/leybold/ Recent content in Leybold on Professional IR Heat Solutions Hugo cs Sat, 06 Jun 2026 04:20:23 +0800 http://ir-heat-work.com/cs/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ Sat, 06 Jun 2026 04:20:23 +0800 http://ir-heat-work.com/cs/posts/leybold-vacuum-heater-spare/ <p><img src="http://ir-heat-work.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Náhradní díl vakuového ohřívače Leybold"></p> <p>Na výrobní hale termální výkyv při soft bake nebo hard bake nejen že mírně ovlivní výtěžnost — v některých případech ji úplně znehodnotí. Když vakuový ohřívač Leybold začne driftovat, profil fotoresistu kolabuje, uniformita kritických rozměrů (CD) se rozcházejí a vzniká etch bias. Tyto náhradní díly vakuových ohřívačů Leybold jsme navrhli tak, aby udržely tepelný rozpočet přesný, cyklus za cyklem.</p> <p>Zde jsou skutečně důležité parametry uvnitř zařízení. Sestavy ohřívačů udrží termální uniformitu na waferové úrovni v rozmezí ±0,1 °C napříč chuckem, takže profily soft bake a hard bake se opakují — ať už pracujete s fotoresisty na g-line, i-line nebo KrF. Křemíkově-halogenové prvky s krátkovlnným zářením poskytují rychlé, čisté náběhy teploty bez uvolňování plynů.</p>