V tovární hale se neodhaduje kvalita vypalování fotorezisty pouze na základě teploty. Hodnotí se na základě doby provozu, počtu částic, které se...

Na výrobním patře znáte sázky. Odchylka 1 °C během měkkého pečení fotorezistu může znehodnotit 300mm wafer, než se vůbec dostanete k expozici....