Jak využít plně možnosti oplachovacího a sušicího zařízení
Při provozu oplachovací stanice je cíl docela jednoduchý: dostat wafer co nejrychleji zcela suchým, aniž by se substrát přehřál nebo se na jeho povrchu usadily nějaké nečistoty.
K tomu používáme vodotěsné infračervené lampy. Ale skutečným tajemstvím nejsou samotné lampy – jedná se o reflektory potažené zlatem, které k nim patří.
Standardní hliníkové reflektory jsou sice v pořádku, ale pohlcují příliš mnoho energie. Zlato je však jiné – odráží mnohem vyšší procento energie z infračerveného spektra zpět. Místo toho, abyste ztráceli teplo do obalu lampy, posíláte více energie přímo na wafer.
Proč se obtěžovat zlatem?
Jde o otázku spotřeby energie. Když máte vysokowattovou lampu, velké množství tepla se samozřejmě snaží uniknout ven. Obal potažený zlatem zachycuje tu zbytečnou energii a posílá ji zpět tam, kam patří.
Výsledkem jsou vyšší teploty povrchu, aniž byste museli zvyšovat výkon lampy. Nejde o to přidat více energie, ale o to zajistit, aby energie, kterou už máte, skutečně dosáhla cíle.
Potíže
Jelikož se jedná o oplachovací proces, vlhkost a chemické páry jsou všude kolem. Zapečetíme konce součástek, abychom ochránili vlákna lampy a zabránili nebezpečným zkratům.
Ale musíte být opatrní s teplotním režimem. Protože tyto zlaté reflektory dokonale koncentrují teplo, fokusovací bod se stává velmi intenzivním. Pokud dojde k poruše dopravníku nebo pokud wafer zůstane pod lampou o sekundu déle, může dojít k přehřátí substrátu. Proto doporučujeme používat precizní PID řadiče. Ty udržují vše stabilní a eliminují nebezpečné „horké body“.
Výhody
Když to funguje, je to skvělé. Nepotřebujete tolik lamp, abyste dosáhli požadované teploty. To znamená, že vaše zařízení zabírá méně prostoru a elektropanely nemusí snášet tak velké zatížení.
Dostanete rychlejší náběh teploty a rovnoměrné sušení celého waferu. Je to prostě chytřejší způsob, jak vytěžit maximum z každého wattu.