টেকসই ফটোরেজিস্ট বেকিং হিটার

Thu, 18 Jun 2026 04:43:55 +0800

ফ্যাব ফ্লোরে, ফটোরেজিস্ট বেকিং-এর মান শুধুমাত্র তাপমাত্রার ভিত্তিতে মূল্যায়ন করা হয় না। এর মান মূল্যায়ন করা হয় উইথআউটের ভিত্তিতে, কণার সংখ্যার ভিত্তিতে, এবং হাজার হাজার ওয়েফারের মধ্যে CD-এর সামঞ্জস্যের ভিত্তিতে। যখন হিটারটি ঠিকমতো কাজ না করে, তখন প্রক্রিয়াটি থেমে যায়; ফলে পণ্য ও তাপীয় সম্পদ নষ্ট হয়।

আমরা কী তৈরি করেছি, এবং এর গুরুত্ব কী? আমরা এই ফটোরেজিস্ট বেকিং হিটারটি শর্ট-ওয়েভ ইনফ্রারেড উপাদান ও কোয়ার্টজ-সহায়তাপ্রাপ্ত থার্মাল স্ট্যাকের ভিত্তিতে তৈরি করেছি। কারণ এর মাধ্যমেই ±0.1°C এর মধ্যে ওয়েফারগুলোর মধ্যে সামঞ্জস্য বজায় রাখা যায়। হিটারটি ক্লিনরুম ক্লাস 1–100-এর মানদণ্ড অনুযায়ী তৈরি করা হয়েছে; এতে কণা উৎপন্ন হয় না।

ফটোরেজিস্ট প্রি বেক ইনফ্রারেড হিটার

Fri, 05 Jun 2026 04:28:02 +0800

ফ্যাব ফ্লোরে, আপনি জানেন ঝুঁকি কতটা। একটি ১°C পরিবর্তন ফটোরেজিস্ট সফট বেকের সময় ৩০০ মিমি ওয়েফারকে স্ক্র্যাপ করতে পারে, আপনি এক্সপোজারে পৌঁছানোর আগেই। প্রচলিত হট প্লেটগুলি এজ রোল-অফের বিরুদ্ধে লড়াই করে, এবং তাপীয় ল্যাগ লট থেকে লটে পুনরাবৃত্তি সমস্যা তৈরি করে। আপনার এমন একটি তাপ পদ্ধতির প্রয়োজন যা স্পিন কোেটিংয়ের সাথে তাল মিলিয়ে চলে এবং লিথোগ্রাফির লক্ষ্য ঠিক করে।

যা ভিতরে গুরুত্বপূর্ণ আমরা ইনফ্রারেড হিটার দিয়ে ফটোরেজিস্ট প্রি-বেক চালাই: দ্রুত, বিকিরণ তাপের সাথে সঠিক তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ। শর্ট-ওয়েভ আইআর উপাদানগুলি সাব-সেকেন্ড সময়ের মধ্যে প্রতিক্রিয়া জানায়, তাই ওয়েফারের মধ্যে অ-সমানতা তৈরি করা ল্যাগ চলে যায়। ওয়েফার-স্তরের সমানতা সম্পূর্ণ পৃষ্ঠ জুড়ে ±০.১°C পৌঁছায়, এবং সেটপয়েন্ট পুনরাবৃত্তি ±০.২°C পরিবর্তন-থেকে-পরিবর্তনে ধরে রাখে। এই হিটারগুলি ক্লাস ১-১০০ ক্লিনরুমে স্বাচ্ছন্দ্যে বসে থাকে, কোন কণা এক্সকর্শন নেই এবং কম আউটগ্যাসিং রয়েছে। ক্লোজড-লুপ নিয়ন্ত্রণ তাপীয় বাজেটকে স্থিতিশীল রাখে, তাই সফট বেকের পরে এবং পরবর্তীতে এক্সপোজারের পরে গুরুত্বপূর্ণ মাত্রাগুলি স্পেসিফিকেশনের মধ্যে থাকে।

Bake on Professional IR Heat Solutions

টেকসই ফটোরেজিস্ট বেকিং হিটার

ফটোরেজিস্ট প্রি বেক ইনফ্রারেড হিটার